龍華科大林宗新副教授熱衷創(chuàng)新發(fā)明 馬來西亞發(fā)明展三度奪金
龍華科大林宗新副教授，參加2023馬來西亞 ITEX 國際發(fā)明展榮獲金牌殊榮。照：龍華科大提供
龍華科技大學(xué)化工與材料工程系（112年8月1日正式更名為半導(dǎo)體工程系）林宗新副教授及李九龍教授，指導(dǎo)系上學(xué)生李傳婷、楊尚樺、葉星妤、辜柏宏、鄭錦陽、王曲禾等6位同學(xué)，日前參加2023馬來西亞 ITEX 國際發(fā)明展，研發(fā)團隊以作品「Copper－rhodium (Rh) coating method(銅銠鍍層的製備方法)」，榮獲金牌殊榮。
林宗新副教授熱衷創(chuàng)新發(fā)明，曾於2017年以「作為緩衝層之銅鍍層及其製作方法」，以及2018年以「具有良好導(dǎo)熱性與照度的銅鍍層及其製備方法」作品於馬來西亞國際發(fā)明展連續(xù)獲得金牌，獲頒2022年第18屆國際傑出發(fā)明家學(xué)術(shù)國光獎?wù)拢瑏K於今年5月初獲總統(tǒng)召見，此次得獎為其第三度奪金，充分展現(xiàn)優(yōu)異研發(fā)實力！
林宗新副教授獲頒第18屆國際傑出發(fā)明家學(xué)術(shù)國光獎?wù)拢瑫x見總統(tǒng)並合影。照：龍華科大提供
林宗新指出，銅雖然導(dǎo)電性佳，卻易與矽基板起化學(xué)反應(yīng)而使其應(yīng)用受阻，而他的濺鍍銅合金薄膜研究，則考量在不使用阻障層的情況下，改將微量物質(zhì)摻雜於銅鍍層中，藉此提升銅的穩(wěn)定性。
林宗新研究發(fā)現(xiàn)，在ＩＣ晶圓封裝的鍍膜過程中，導(dǎo)入微量物質(zhì)，退火後所添加之微量物質(zhì)於界面生成一反應(yīng)層，此界面層可扮演類似阻障層角色，抑制銅矽化合物反應(yīng)，並進一步提升銅矽化合物形成溫度。除具備低電阻外，亦可簡化製程。
這項發(fā)明可運用在銅導(dǎo)線、ＩＣ晶圓與半導(dǎo)體封裝上緩衝層、LED元件散熱層與抗菌醫(yī)療器材上，應(yīng)用相當廣泛，相較於國內(nèi)外使用濺鍍銅合金薄膜阻障層製程，林宗新的研究為無阻障金屬化製程，具備可簡化製程、降低製造成本特點，期待日後與廠商合作，進入實際製程應(yīng)用。
龍華科大校長葛自祥除恭喜師生團隊奪獎優(yōu)異表現(xiàn)，他並表示，學(xué)校多年來積極推動產(chǎn)學(xué)鏈結(jié)、學(xué)用合一的實作教育，強調(diào)讓學(xué)子從做中學(xué)；同時開設(shè)多項三創(chuàng)課程，並提供跨域指導(dǎo)與學(xué)習(xí)，以增進學(xué)生創(chuàng)新、創(chuàng)意、創(chuàng)業(yè)各領(lǐng)域所需專業(yè)知識及技能。葛校長強調(diào)，學(xué)校鼓勵師生參賽累積經(jīng)驗，展現(xiàn)研發(fā)成果並印證龍華科大的扎實技術(shù)與雄厚的研發(fā)實力。期望師生持續(xù)與業(yè)界交流，促進專利商品化，進而創(chuàng)造產(chǎn)品商用價值。
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龍華科大林宗新副教授銅銠鍍層製備方法ITEX 國際發(fā)明展