助攻MIT次世代半導(dǎo)體材料 中山大學(xué)6吋晶體技轉(zhuǎn)5千萬(wàn)
國(guó)立中山大學(xué)晶體研究中心主任周明奇（左）指出，該中心是臺(tái)灣唯一能生長(zhǎng)次世代半導(dǎo)體碳化矽的實(shí)驗(yàn)室，已率先成功生長(zhǎng)出直徑6吋的碳化矽晶體塊材。，今年7月起技轉(zhuǎn)臺(tái)灣應(yīng)用晶體公司及其所屬集團(tuán)，簽訂5年5千萬(wàn)技術(shù)移轉(zhuǎn)案。照：中山大學(xué)提供
晶片荒已蔓延全球數(shù)年，長(zhǎng)晶速度與穩(wěn)定品質(zhì)成為決勝關(guān)鍵！國(guó)立中山大學(xué)晶體研究中心是臺(tái)灣唯一能生長(zhǎng)次世代半導(dǎo)體碳化矽（SiC）的實(shí)驗(yàn)室，已率先成功生長(zhǎng)出直徑6吋的碳化矽晶體塊材。中山大學(xué)材料與光電科學(xué)學(xué)系教授兼晶體研究中心主任周明奇指出，研發(fā)過程結(jié)合中鋼、中鋼碳素等國(guó)內(nèi)企業(yè)專業(yè)，除在石墨隔熱材料、坩堝及晶體生長(zhǎng)設(shè)備等領(lǐng)域助攻MIT產(chǎn)業(yè)升級(jí)，今年7月起更技轉(zhuǎn)臺(tái)灣應(yīng)用晶體公司及其所屬集團(tuán)，簽訂5年5千萬(wàn)技術(shù)移轉(zhuǎn)案，助攻臺(tái)灣半導(dǎo)體材料領(lǐng)航優(yōu)勢(shì)。
第三類（次世代）半導(dǎo)體材料碳化矽（SiC）已發(fā)展數(shù)十年，具備低耗損、高功率、低雜訊、散熱佳等不可取代的特性，但晶體生長(zhǎng)的技術(shù)門檻高。周明奇強(qiáng)調(diào)，第三類半導(dǎo)體材料碳化矽晶體是國(guó)家的重要戰(zhàn)略物資，可多元應(yīng)用於電動(dòng)車、光電、衛(wèi)星通訊、國(guó)防、生醫(yī)等領(lǐng)域，中山大學(xué)團(tuán)隊(duì)創(chuàng)全國(guó)學(xué)研單位之先，已取得晶體生長(zhǎng)關(guān)鍵突破，成功生長(zhǎng)6吋導(dǎo)電型（n-type）4H碳化矽單晶，並在品質(zhì)穩(wěn)定、生長(zhǎng)速度等面向持續(xù)優(yōu)化。
在研發(fā)過程中，中山大學(xué)團(tuán)隊(duì)攜手臺(tái)灣企業(yè)共同創(chuàng)新，例如長(zhǎng)晶設(shè)備包括電源供應(yīng)器及電腦控制系統(tǒng)等軟硬體100%MIT，長(zhǎng)晶爐是由中山大學(xué)創(chuàng)新育成中心孵化的企業(yè)所打造，坩堝（存放碳化矽原物料的容器）及石墨等隔熱材料更有賴高雄在地企業(yè)的應(yīng)援。德國(guó)、日本廠商已投入坩堝研發(fā)生產(chǎn)數(shù)十年，特別感謝包括中鋼與中碳的專業(yè)支援！周明奇強(qiáng)調(diào)，由於兩大企業(yè)同處?kù)陡咝鄣牡乩悖谯釄宓母魺岵牧吓c熱場(chǎng)設(shè)計(jì)相關(guān)技術(shù)改善過程中，提供許多協(xié)助。
周明奇表示，今年7月起，中山大學(xué)將6吋碳化矽晶體相關(guān)技術(shù)移轉(zhuǎn)至臺(tái)灣應(yīng)用晶體公司及其所屬集團(tuán)，並簽訂5年5千萬(wàn)的高額技轉(zhuǎn)案，以每年1千萬(wàn)專屬授權(quán)的買斷合約形式進(jìn)行，這也代表該集團(tuán)正式跨入次世代半導(dǎo)體領(lǐng)域。雙方於未來5年在6吋、8吋大尺寸的導(dǎo)電型（n-type）與半絕緣型（Semi-insulating Silicon Carbide; SI.-SiC）4H、6H碳化矽單晶，都將攜手合作。
中山大學(xué)向來嚴(yán)選產(chǎn)學(xué)合作企業(yè)，談起產(chǎn)學(xué)合作的原則，周明奇直言，合作的企業(yè)注重研發(fā)、人才培育、專利及Know-How，且同屬產(chǎn)業(yè)鏈最上游的原料供應(yīng)端，現(xiàn)有產(chǎn)線運(yùn)作與碳化矽長(zhǎng)晶相似， 7月起該企業(yè)的工程師每周都將參加我們召開的技術(shù)會(huì)議，未來建廠期間也將持續(xù)攜手，平順地將技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室承接至全新廠區(qū)。」
「除了在第三類半導(dǎo)體材料碳化矽晶體的優(yōu)勢(shì)，中山大學(xué)同步研發(fā)第四類半導(dǎo)體氧化鎵（Ga2O3）的單晶塊材（Bulk Crystal）。」周明奇說，在硬體設(shè)備上，中山大學(xué)晶體研究中心已有兩臺(tái)6吋長(zhǎng)晶爐，將於9月新增一臺(tái)6吋與兩臺(tái)8寸長(zhǎng)晶爐。下一階段有機(jī)會(huì)導(dǎo)入化工專業(yè)領(lǐng)域的集團(tuán)成為合作夥伴，從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈最上游的稀土原物料純化及廢料處理等創(chuàng)新研發(fā)著力，持續(xù)協(xié)助MIT企業(yè)優(yōu)化產(chǎn)能並提高臺(tái)灣國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。
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中山大學(xué)晶體研究中心次世代半導(dǎo)體材料碳化矽晶體